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AF・ミクロン深さ高さ測定機


特徴

1.光切断によるスリット像観察とスポット光像によるAF(オートフォーカス)追従を組み合わせた新しいタイプの深さ高さ測定機です。

2.連続追従AF駆動で繰り返し精度の高い測定が操作性良くスピーディーにできます。

3.スリット像が映し出す段差形状を観察しながら測定する方式なので、測定画面上の高低をリアルタイムで認識でき、測定が必要な箇所を容易に判断できます。

4.測定点でスリット像・スポット光像・電子ライン基準線の中心がすべて一致する測定システムで、そのズレのチェックにより誤った数値での測定を防止することができます。

5.光切断の仰角は標準の90°の他30°60°120°と用途に応じて選択導入できます。



主な仕様
観察方法

光切断方式(スリット光学系による深さ高さ測定)
対物レンズ

固定倍率10倍(5倍、20倍もございます)
Z軸駆動方式

スポット光によるAF連続追従方式(オフラインで手動測定可能)
投射スリット

10μm ハーフミラータイプ
Z軸測定

Z軸デジタルリニアゲージ0.1μm読み
繰り返し精度

±1μm以内
使用する光源

半導体レーザー(クラス2)、ハロゲン光源



※用途に応じての仕様変更・カスタマイズが経済的にご利用頂けます。


システムの説明

深さ、高さ、段差を明確に示す光切断法…断面形状を表す細いスリット光と、赤色のレーザースポット、段差の変化を自動的に捉え、Z軸機能が素早く追従し、測定数値のデジタル表示をする(オートフォーカス・システム)機能と、電子ライン方式の基準線を組み合せた、測定範囲を広げ、利用価値が大きくなった、新しいタイプの深さ高さ測定機です。



特長

連続追従性の高いAF駆動と、繰返し精度の良い測定が、自動のスイッチONと同時に、XY軸移動のテーブル上で、スピーディーに行なえます。

(また、自動スイッチのOFFで、手動のミクロン深さ高さ測定機としてお使いいただけます。)



測 定−1

細いスリット光が映しだす断面形状と赤色のレーザースポット光、白色の電子ラインの基準線の3点が、TVモニターの中央で一緒に重なり合って、測定面上の高低差をリアルタイムに認識して、測定数値を表示します。

自動測定の優れたところは、操作性と、読み取り数値の再現性がよいことです。



測 定−2

弊社製の、ハロゲン光源を用いたミクロン深さ高さ測定機で測定ができなかった試料でも、赤色のレーザー光を使ったこの機種は、受光感度が高い素子との相乗作用が幸いして測定ができます。測定用のテストピースをお送り下されば、トライいたしますので、どうぞー。



仕様
光学系本体

・光切断方式

  深さ、高さ(段差)をスリット光で検出します。

・対物レンズ

  10x付き(5x、20xはオプションです)

・赤色レーザー

  クラス2 350mw

・受光素子

  スポット光 ±0v.一致方式

・映像

  カラーTVカメラ、液晶カラーモニター13”

・照明

  ハロゲン照明150wとファイバーガイド1m

Z軸駆動

赤色レーザースポット光による連続追従方式

投射スリット

10μm ハーフミラー(標準)

(30μm、80μmハーフミラーはオプションです)

Z軸測定

Z軸デジタルリニアゲージ0.1μm読み

繰返し精度

±1μm以内



測定用途

機械加工部品、成型品、フィルム、基板等の凹凸、搭載部品の高さ位置、プレス部品、金型及び加工品、その他の精密加工品の測定・検査に最適です。



PR.

いろいろな種類の光学機器を製造しています。

レーザー光を利用したZ軸駆動装置の機能を組み合せ、新しい産業に役立つ製品の開発、製作に取り組み、お役に立てるよう努力いたします。






日商精密光学株式会社

Tel:0495−33−2251 Fax:0495−33−2107




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