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スリット平行交錯型 深さ高さ測定機

スリット光により検出した深さ高さの断面像を、正像と反転像の左右移動交錯による一致合わせを利用して深さ高さ及びX・Y軸方向の測定ができる光学式測定顕微鏡です。
深いホール状内の微小な3次元測定も可能であり、光切断方式の段差測定機のカバー領域を大きく広げました。
対物レンズが垂直にセットされているので、物体像は通常の顕微鏡同様にフラットです。
シャターの切換で反転像を消し、正像のみで観察する事も出来ます。


仕様
光学系

正立像と反転像の2系統
対物レンズ倍率

5x、10x、20x ターレットによる切替方式
投射スリット

10μm ハーフミラータイプ
Z軸測定

Z軸デジタルリニアゲージ0.1μm読み
XYテーブル

移動量50×50mm、デジタルマイクロメーター1μm読み取付可 
架台の大きさ

300mm×380mm×50mm
TV装置

1/2インチカラーCCDカメラ、13インチカラー液晶モニター
シャッター切換

反転像を切換で遮断し、正像のみを見ることができます。
照明装置

50Wハロゲン照明装置、ファイバーライトガイド



※用途に応じての仕様変更・カスタマイズが経済的にご利用頂けます。





日商精密光学株式会社

Tel:0495−33−2251 Fax:0495−33−2107




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