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光切断測定機

AF・ミクロン深さ高さ測定機
1.光切断によるスリット像観察とスポット
 光像によるAF(オートフォーカス)
 追従を組み合わせた新しいタイプの
 深さ高さ測定機です。
2.連続追従AF駆動で繰り返し精度の
 高い測定が操作性良くスピーディー
 にできます。
3.スリット像が映し出す段差形状を
 観察しながら測定する方式なので、測定
 画面上の高低をリアルタイムで認識でき、
 測定が必要な箇所を容易に
 判断できます。
4.測定点でスリット像・スポット光像・
 電子ライン基準線の中心がすべて一致
 する測定システムで、そのズレのチェックに
 より誤った数値での測定を防止することが
 できます。
5.光切断の仰角は標準の90°の他
 30°60°120°と用途に応じて選択導入
 できます。

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ハイミクロンスコープ2型(高感度型)0.1μmよみ
光切断の光学系を高度化して読み取り精度を一桁上げたハイミクロンスコープ2型が、光切断光学系のエースとしてユーザーの注目を浴びています。
物理的に不可能とされていたヨコ拡大倍率の1.4×を一挙に4.5×に広げ、微妙な凹凸面の深さ、高さ、の断面像がヨコ方向に大きくズレて強調されて見えるという素晴らしい機能をもっています。

■精密な凹凸の無接触測定に最適。

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ミクロン深さ高さ測定機 1μmよみ
スリット光を使って深さ高さを.1μm単位で無接触測定をする光切断型測定顕微鏡です。
厚膜ICの高さ、接着のためのシール剤の高さ、リードフレームピン先のバラツキ高さ変位、円盤上縁面の面取り深さ、etc.

■この原理を応用して、2枚のガラス間隙を測定する機械もあります。

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ヨコ型ミクロン深さ高さ測定機(ヨコ向き、TV専用タイプ)

壁面、側面、リング状の内壁面などの断面形状、凹凸面の変位測定がTVモニター画面を見ながら簡単に測定できます。

測定台はXY軸の移動で測定面の位置合わせを行い、θテーブルの回転で、円周内壁面方向が見られ、Z軸で高さ方向の上下移動ができ、Y’軸の微調で凹凸面を1μm単位で測定します。

ミクロンXYZ測定機(3次元測定)1μmよみ

無接触でタテ、ヨコ、深さ、高さの変位も一緒に測定します。

スリット光を利用し無接触で深さ高さを測定する機能に、新たにタテ・ヨコ方向測定と、測定面の顕微鏡観察機能を加えた、応用範囲の広い3次元測定機です。

TVカメラ、TVモニター2台のセットになります。スリット光での断面形状観察と凹凸面の変位測定を含めた3次元測定が素速やく、簡単にできます。

ガラス間隔測定機 1μmよみ X、Y軸測定 Z軸測定

ガラスとガラス、ガラスとプラスティクス、或いは金属板、基板などの2枚の間の空間(スキマ)をミクロン単位で肉眼、あるいはTVモニターを通して無接触測定ができます。

スライドテーブルにもマウントできます。

レーザ・ミニ光切断スコープ(赤色レーザ使用)1μmよみ(特注製品)

670μmのレーザ光の明るいスリットで断面像を作り、断面形状観察と凹凸量の変位測定に使います。外観がコンパクトにまとめられますので、測定に使ったり、計測装置にとり付けたりができます。レーザの点灯ライトは20,000Hです。

レーザのスリット光が極めて細いのが特長です。
小型軽量なため、液晶モニターとの組み合わせで携帯用としても使えます。
光切断の光学系については豊かな経験とデーターが充分にあります。装置に合せたOEM製品の製作もお受けいたします。

スライドテーブルMB型

測定物の大形化に合わせ、X方向に260mm、Y方向250mmの範囲が手動で移動できるスライドテーブルと、25×25mm移動のデジタルマイクロメータを付けたX、Y軸1μm読みのテーブルを組み合わせセットした経済的なスライドテーブルです。

スライドテーブルはX、Y軸共にガイドレールとの組み合わせになっていますので、手で軽く動き、また、クランプによって正確に止まります。

(粗動XY軸)

クランプ後の微動テーブルは、25mm移動のマイクロメータでX、Y軸ができます。また、電子マイクロメータの取り付けでデジタル表示の読み取りができます。

スライドテーブルVLB型(特注製品)

大型の資料を乗せてXY方向に700mm、Y方向に600mmの範囲が手動で移動できる大型テーブルと25×25mm移動のデジタルマイクロメータが付いたX、Y軸、1μm読みのテーブルを組み合わせセットにした経済的なスライドテーブルです。

ミクロン深さ高さ測定機のマウントはもちろんのこと、ステレオ顕微鏡、イメージスコープが差し替えでマウントでき、TV画像面上で大型資料の部分測定、あるいは、目視での外観検査ができます。

クランプ後の微動テーブルは、25mm移動のマイクロメータでX、Y軸ができます。また、電子マイクロメータの取り付けでデジタル表示の読み取りができます。

スリット平行交錯型 深さ高さ測定
スリット光の深さ高さの断面像を正像と反転像の左右移動交錯による一致合わせを利用した深さ高さ測定機


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